동탄이엔지는 정전척에 대한 이해뿐만 아니라 반도체 장비 전반적으로 이해도가 높은 핵심 엔지니어와 글로벌 반도체 제조 경험 및 물류 전문가가 개발에서부터, 제조, 수출까지 함께 노력하여 일군 기업입니다.
그동안 해외에 집중되어 있던 사업영역을 국내 기업에도 확대 적용함으로서, 명실상부 세계 최고의 정전척 제조 업체가 되는 것을 목표로 하고 있습니다.
제품(서비스)소개
정전척
정전척은 정전기의 힘을 사용해 웨이퍼를 반도체 장비에 고정해 주는 핵심 부품으로서 기존에 기계적힘으로 고정하는 방식에서의 문제점(일관성, 작업성, 수율, 안정성 등)을 획기적으로 개선한 기술입니다. 전기적으로 다른 전위를 갖고 있는 두 물체간에 작용하는 정전력을 이용하여 반도체 제조공정에 따라 웨이퍼를 제조장비의 진공 챔버 내부에 기판이 놓이는 곳으로 정전기의 힘을 사용해 기판을 하부전극에 고정하는 핵심 부품입니다.
그동안 해외에 집중되어 있던 사업영역을 국내 기업에도 확대 적용함으로서, 명실상부 세계 최고의 정전척 제조 업체가 되는 것을 목표로 하고 있습니다.
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